Fotolackapplikation

Ultraschall-Sprühsysteme zur präzisen und gleichmäßigen Beschichtung mit Fotolack

 

fotolackapplikation
Fotolackapplikation

Sono-Tek Ultraschalldüsen werden erfolgreich eingesetzt zur Applikation von fotolithographischen Materialien auf Halbleiterwafer und Flachdisplays. Die Technik ist ideal für Fotolackprozesse, die hohe Präzision erfordern.

Vorteile beim Ultraschallsprühen von Fotolack umfassen:
  • Gleichmäßige Beschichtung auf unebenen Oberflächen, z.Bsp. bei MEM’s
  • Verringerung des Fotolackverbrauchs
  • Genaue Steuerung der Auftragsmenge
  • Hohe Transfereffizienz