Präzise und differenzierte Festigkeitsmessung von Monolagen und Multischichtsystemen

Micro-Slurry-Jet-Erosion (MSE)

Mithilfe des MSE-Testsystems ist es jetzt möglich die Festigkeitsevaluierung Dünner Schichten mittels physikalischer Messgrößen sehr gut quantifizieren zu können. Desweiteren können nicht nur individuelle Oberflächen und Schichten, sondern auch die Festigkeit jeder einzelnen Lage eines Multischichtsystems vermessen werden und das sowohl bei harten Lagen über weichen Schichten, als auch bei weichen auf harten Lagen.

Anwendungen

Forschung & Entwicklung

  • Dünne Schichten
  • Hartstoffbeschichtungen
  • Optische Schichten
  • Verbundwerkstoffe
  • Schneide- und Schleifwerkzeuge
  • Sintermaterialien uvm.

Industrie

  • Qualitätskontrolle bei CVD, PVD und anderen Dünnfilmbeschichtungsprozessen

 

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Eigenschaften des MSE-Tests

1. Die kontinuierliche Messung des Verlaufs der Festigkeit von der Oberfläche bis in die Tiefe des Materials

2. Die Festigkeitsmessung von sowohl weichen als auch harten Schichten, unabhängig von der Beschaffenheit des Substrates

3. Die Messung der Festigkeit jeder individuellen Lage bei Multischichtsystemen

4. Die Ermittlung von Schichtdicken Dünner Schichten, die mit anderen Schichtdickenmessverfahren nur schwierig oder gar nicht messbar sind

5. Die Auflösung des MSE-Tests beträgt 20nm. Viele Anwendungsfälle, bei denen die Oberflächen- und/oder Schichtfestigkeit bisher nicht messbar waren, können mittels MSE jetzt evaluiert werden.

Vorteile der Schichtfestigkeitsmessung

Materialschonende Evaluierung von Dünnen Schichten

Evaluierung von sehr weichen (Gummi) bis zu ultra-harten Oberflächen (Diamant/DLC)

Kontinuierliche Messung der Festigkeit und Schichtdicke bei Multi-Schichtsystemen

Hochauflösende Evaluierung (20nm Auflösung) auch sehr harter Materialien

Geringer Zeitaufwand

Verbesserung der Qualitätskontrolle bei Fertigungsprozessen


Oberflächen- und Schichtfestigkeitsmessung

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Micro-Slurry-Jet-Erosion

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