Präzise und differenzierte Messung der Oberflächenfestigkeit

Micro-Slurry-Jet-Erosion (MSE)

MSE ist fundamental anders als traditionelle Methoden, die auf der Messung von Zug-, Druck-, Kompressions-, Reibungs- oder Kratzfestigkeit basieren. Denn MSE nutzt die Erosionskraft eines Mikro-Partikelstrahls als neuen Referenzstandard. Dieser neuartige Ansatz ermöglicht es, die Schichtfestigkeit von der Oberfläche bis in die Tiefe kontinuierlich zu messen bei einer Auflösung im Sub-Mikrometerbereich und das unabhängig von der Härte oder Verformbarkeit des Substrates! Somit liefert MSE eine hervorragende Möglichkeit der Quantifizierung und Visualisierung der Oberflächenfestigkeit sowohl sehr weicher als auch sehr harter Materialien und eröffnet damit sowohl der Forschung & Entwicklung als auch der Qualitätskontrolle ganz neue Möglichkeiten.

 

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Anwendungen

Forschung & Entwicklung

  • Dünne Schichten
  • Hartstoffbeschichtungen
  • Optische Schichten
  • Verbundwerkstoffe
  • Schneide- und Schleifwerkzeuge
  • Sintermaterialien uvm.

Industrie

  • Qualitätskontrolle bei CVD, PVD und anderen Dünnfilmbeschichtungsprozessen

 

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Vorteile der Oberflächenfestigkeitsmessung

Materialschonende Evaluierung von Oberflächen

Evaluierung von sehr weichen (Gummi) bis zu ultra-harten Oberflächen (Diamant/DLC)

Kontinuierliche Messung der Festigkeit von der Oberfläche bis in die Tiefe

Hochauflösende Evaluierung (20nm Auflösung) auch sehr harter Materialien

Geringer Zeitaufwand

Verbesserung der Qualitätskontrolle bei Fertigungsprozessen


Oberflächen- und Schichtfestigkeitsmessung

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Micro-Slurry-Jet-Erosion

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